失效检测和分类(FDC)领域中的第一名

Process Control(C-Ops)模块是FDC的市场领导者,在全球6'', 8''和 12''英寸晶圆厂中,P-Ops管理着超过40000 种制造工具, 支持数百种品牌和型号的半导体制造设备。

强大而高效的以Fab为中心的模型

PDF Solutions具有独特的自上而下的建模方法。 我们工艺控制方法以晶圆厂为中心,利用了通过DEX(数据交换网络)自动收集和集成的前端和后端数据,提供强大的特征分析和诊断功能。 与“每个工具”的分布式部署相比,此方法可以实现更有效的部署,并可以在工具和工厂级别进行决策和控制。


偏移诊断和变异性控制

通过FDC工具传感器水平诊断自动检测偏移事件并深入分析,从而显示工艺和计量的偏移、参数漂移、预防性维护和消耗性活动检测。

 


减少变异性

带有高级诊断功能的一步式参数筛选,可驱动响应相关性反馈到工具控制(动态SPC),以提供良率、设备参数和计量。

 

 


Process Control 模块的亮点

  • 常规FDC功能
  • 使用您现有的或我们的传感器收集器
  • 离线模型创建和仿真
  • 配置版本控制
  • 实时交互式报告
  • OCAP(失控行动计划)警报
  • 在线SPC
  • 审批循环
  • 结合总结和实时FDC数据

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